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如何選擇真空等離子清洗機的氣體流量控制器?

May. 13, 2024

工藝氣體流量的穩(wěn)定性對工業(yè)型真空等離子清洗機的處理效果具有重要的影響。為了確保清洗效果,大多數(shù)工藝都對氣體流量控制要求非常嚴格。因此,工業(yè)型真空等離子清洗機通常采用質(zhì)量流量控制器來控制工藝氣體流量。

 

在工業(yè)型真空等離子清洗機實際使用過程中,不同的工藝要求需要使用不同流量控制范圍的質(zhì)量流量控制器。真空等離子清洗機常用的流量控制范圍通常在0~50SCCM、0~500SCCM之間。對于一些大型真空等離子清洗機,還需要使用0~1SLM規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。(注意:單位SCCM和“ml/min,0℃,1atm”等同;單位SLM和“L/min,0℃,1atm”等同。) 在選擇通入不同工藝氣體時,建議選擇對應(yīng)氣體的專用質(zhì)量流量控制器,以確保輸入氣體的穩(wěn)定和計量。這是因為不同工藝氣體的分子大小、化學(xué)特性等都會對流量控制器的性能產(chǎn)生影響,可能會導(dǎo)致流量誤差和安全隱患。

 

如果使用傳統(tǒng)的工藝氣體,可以選擇一種氣體作為標準,其中僅需要確保氣體流速的穩(wěn)定性。要注意的是,對于氫氣(H2)、四氟化碳(CF4)等特殊氣體,易爆易燃且具有腐蝕性的氣體,必須使用專用的質(zhì)量流量控制器。這些特殊氣體在實驗過程中具有很高的危險性,一旦泄漏或受到外界刺激,可能會引發(fā)爆炸或火災(zāi)等安全事故。因此,在選擇通入氣體時,必須充分考慮氣體的特性和安全性,以確保實驗操作的安全順利進行。

 

此外,實驗型真空等離子清洗機機通常對流量控制要求不是很嚴格,因此也可以選用手動浮子流量計。手動浮子流量計操作簡單、價格便宜,對于一些流量變化不大的情況比較適用。

 

但是,在實驗過程中,由于氣體的不穩(wěn)定性和不確定性,手動浮子流量計的精度和穩(wěn)定性可能無法滿足實驗要求,因此在實際應(yīng)用中,建議選擇專用的質(zhì)量流量控制器,以確保實驗結(jié)果的準確性和安全性。


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